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作者： 野尻一男
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日本生產工程權威獎項得主力作，圖解與表格詳實，帶領工程師掌握半導體乾蝕刻技術的全貌，提升現場即戰力。
◎作者於1989年，以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。1994年，以「低溫乾蝕刻設備的開發」受獎機械振興協會賞通產大臣賞。
◎圖解乾蝕刻技術的原理與實務，讓你一讀即懂。
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針對半導體乾蝕刻技術涉及的電漿物理、化學、材料、電磁等複雜現象，循序解析，詳解各環節的連帶影響，提升現場即時應變的作戰能力，為優秀工程師養成必備的工具書！
非等向性蝕刻是如何實現？為何Si的蝕刻使用Cl2及HBr，而SiO2的蝕刻則使用氟碳系列的氣體？為何Poly-Si及Al的蝕刻使用ICP（電感耦合式電漿）之類的高密度電漿，而SiO2的蝕刻則使用中密度電漿於間距狹窄的平行板型蝕刻機？
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作者： 野尻一男
新功能介紹- 譯者：倪志榮
- 出版社：白象文化
新功能介紹 - 出版日期：2015/03/01
- 語言：繁體中文
半導體乾蝕刻技術
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美如部署核轟炸機 北韓恐不敢輕舉妄動
（中央社首爾24日綜合外電報導）南韓聯合新聞通訊社（Yonhap）報導，在兩韓進入二十多年來最嚴重的軍事緊張狀態之際，在南韓部署美國攜帶核武轟炸機和潛艦，是聯軍對北韓軍事壓力增加至最大的強有力選項。
南韓國防部發言人金(王民)奭今天表示，韓美兩國正密切關注朝鮮半島緊張局勢，為應對北韓新一輪挑釁，雙方就調遣美軍B-52轟炸機和核潛艦等軍力的時間進行協商。
消息人士說，預計將被調遣至朝鮮半島的包括美國在關島安德森空軍基地的B-52轟炸機和在日本橫須賀港海軍基地的核動力潛艦。
B-52轟炸機是美國提供南韓的核子保護傘一部分，由於能攜帶多達27噸炸彈，單獨執行長程攻擊任務，深為北韓所畏懼。
B-52轟炸機長48公尺，重221.35公噸，一次可航行長達1萬6000公里，飛行高度可達5萬5000英尺（約1萬6775公尺）。
這種轟炸機可攜帶射程多達3000公里的空對地核武飛彈及其他巡弋飛彈。
B-52轟炸機可攜帶十多枚核子彈及數十枚空對地等導向飛彈。
在過去兩韓軍事緊張情勢升高之際，部署B-52轟炸機和其他美國戰略軍事資產，對牽制頑強的北韓，一直是強有力的嚇阻方法。
北韓博客來網路書局過去曾7次宣布進入「準戰時狀態」，美軍每次都調遣軍力協助南韓遏制北韓挑釁。
2010年11月在延坪島砲擊事件時，韓美啟用「喬治華盛頓號」（USS George Washington）核動力航空母艦和聯合監視暨目標攻擊雷達系統（J-STARS）、F/A—18E/F戰鬥機等進行聯合軍事演習。
由於北韓在2013年2月第三次核子試爆後，揚言開戰的恫嚇次數增加，美國派遣B-52轟炸機、F-22匿蹤戰機和核動力潛艦「夏延艦」（USS Cheyenne）到南韓參加美韓聯合軍事演習。
分析家表示，北韓視可攜帶核武轟炸機和軍艦出現在朝鮮半島海域為直接核子威脅，可能對北韓政權施加毀滅性打擊。
分析家指出，隨著美國可能部署B-52轟炸機，目前軍事危機可能進入新的階段，因為這將大幅提高對北韓的軍事壓力。1040824
新聞來源https://tw.news.yahoo.com/美如部署核轟炸機-北韓恐不敢輕舉妄動-142646892.html
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半導體乾蝕刻技術
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